授课目标:利用动态PPT图文,详细讲解当前主流STI与Silicide技术工艺流程。让模拟版图爱好者了解模拟版图在工艺厂设计时的流程;结合工艺信息了解版图设计原理以及避免版图阶段在工艺制造时容易产生的问题。
课程收获:可以详细了解STI工艺流程与工艺生产步骤
课程主要内容:专题讲解STI工艺流程
项目实例理论与实践内容包括:ppt视频讲解理论基础,实践内容可以通过微信组建答疑群。
课程难度: 中级
学习周期: 1课时
基础要求:微电子相关专业学生与在职版图工程师
1.工艺流程前段工艺讲解(AATO CT)
2.工艺流程后段工艺讲解(METAL1 TO PAD)
在校学生与初学者以及在职工程师
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